四氧嘧啶
产品名称: 四氧嘧啶
英文名称: 四氧嘧啶
产品编号: 2244-11-3
产品价格: 0
产品产地: 中国
品牌商标: TIANDZ
更新时间: 2023-08-17T09:55:27
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四氧嘧啶根据用途不同,把高纯试剂又分成几大类:
普通离纯试剂 :
是指一些高纯单质金属、氧化物、金属盐类等,常用于原子能工业材料、电子工业材料、半导体基础材料等,金属单质的氧化物、用来配制标准溶液和作为标准物质,该类试剂常要求含量在 4N-6N 之间。
四氧嘧啶超净电子纯试剂 :
超净高纯试剂是集成电路( IC )制造工艺中的专用化学品,用于硅片清洗、光刻、腐蚀工序中。对这种高纯试剂中可溶性杂质和固态微粒要求非常严格,为适应 IC 集成度不断提高的需求,四氧嘧啶国际上半导体工业协会( Semiconductor Industry Association )近来推出 Semic7( 适合 0.8-1.2 微米工艺技术 ) 和 Semic8( 适合于 0.2-0.6 微米工艺技术 ) 级别的试剂质量标准。我国在原有 MOS 级、 BV-I 级试剂的基础上,四氧嘧啶又制定出 BV-II 级和 BV-III 级试剂标准(相当于 Semic7 )。研究所也研制多种 MOS 级、 BV-I 级 BV-II 级和部分 BV-III 级试剂,其颗粒度( 0.5 微粒颗粒)≤ 25-100 个∕ ml ,金属杂质总量≤ 10 -3 — 10 - 5 ﹪
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