该系列小型离子溅射仪是依据二极直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。不但满足扫描电镜制备薄膜需要，而且也可作为实验设备，溅射较厚的导电膜层用于其他实验。

可选择普通溅射电极，也可选择磁控溅射电极，有1200V、1600V和3000V电离电压可选。

可选蒸碳附件

基本指标

• 靶（上部电极）：Au/Pt：直径：50mm，厚度：0.12mm 

• 真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
• 样品台及工作距离：高配旋转样品台，简配固定样品台，高度手动调节
• 溅射面积： Ф50mm，最大放置
• 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
• 离子电流表： 最大电流：50mA/100mA
• 高压：-1200V/ -3000V
•  定时器： 最长时间：1~3600S
• 真空度手动控制：微型真空气阀，可连接φ3mm软管 
• 可通入气体： 多种
• 机械泵： 2L/S    （120L/min）